動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-01-02 15:23
如何降低半導(dǎo)體制造無(wú)塵車間設(shè)備振動(dòng)問(wèn)題的影響？
要降低無(wú)塵車間設(shè)備振動(dòng)問(wèn)題的影響，需要從設(shè)備選型與安裝、振動(dòng)監(jiān)測(cè)與控制、車間環(huán)境管理等方面綜合采取措施，以下是具體方法：1.2k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-31 16:11
如何有效解決無(wú)塵車間半導(dǎo)體制造設(shè)備周邊環(huán)境的振動(dòng)源
要有效解決無(wú)塵車間半導(dǎo)體制造設(shè)備周邊環(huán)境的振動(dòng)源，需要從振動(dòng)源的識(shí)別與評(píng)估、主動(dòng)控制、被動(dòng)隔振、日常監(jiān)測(cè)與維護(hù)等方面入手，以下是具體措施：505瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-31 16:07
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發(fā)布了文章 2024-12-30 15:32
半導(dǎo)體設(shè)備防震基座為啥要定制？
半導(dǎo)體設(shè)備的種類繁多，包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備等，每種設(shè)備的尺寸、重量、重心位置以及振動(dòng)敏感程度都有所不同。例如，光刻機(jī)通常對(duì)精度要求極高，其工作時(shí)的微小振動(dòng)都可能影響光刻的精度，因此需要專門設(shè)計(jì)的防震基座來(lái)滿足其高精度的要求。而刻蝕機(jī)可能由于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)和工作原理的差異，對(duì)防震基座的承載能力和阻尼特性有特殊的要求。668瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-30 15:28
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發(fā)布了文章 2024-12-27 16:15
第三代半導(dǎo)體對(duì)防震基座需求前景?
隨著科技的發(fā)展，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于快速擴(kuò)張階段。在全球范圍內(nèi)，各國(guó)都在加大對(duì)第三代半導(dǎo)體的投入，建設(shè)了眾多新的晶圓廠和生產(chǎn)線。如中國(guó)，多地都有相關(guān)大型項(xiàng)目規(guī)劃與建設(shè)，像蘇州的國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心就推動(dòng)了當(dāng)?shù)丶爸苓叺漠a(chǎn)業(yè)發(fā)展。這些新建項(xiàng)目會(huì)引入大量的半導(dǎo)體制造設(shè)備，每一臺(tái)設(shè)備都需要配備相應(yīng)的防震基座，從而直接帶動(dòng)了防震基座的新增需求。606瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-27 16:11
第三代半導(dǎo)體防震基座的技術(shù)難點(diǎn)有哪些？
高性能材料研發(fā)：需要具備更高阻尼性能、更低自然頻率、更好的耐腐蝕性和耐高溫性的特殊材料，如先進(jìn)的復(fù)合材料、特種合金等。目前部分高性能材料依賴進(jìn)口，限制了國(guó)內(nèi)防震基座性能的提升。590瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-26 16:52
半導(dǎo)體制造fab廠房建筑防震振動(dòng)測(cè)試介紹
半導(dǎo)體制造FAB廠房建筑防震振動(dòng)測(cè)試?662瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-26 16:48
防震基座的定制生產(chǎn)流程
與客戶進(jìn)行詳細(xì)溝通，了解半導(dǎo)體設(shè)備的基本信息，包括設(shè)備類型（如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備等）、設(shè)備尺寸（長(zhǎng)、寬、高）、設(shè)備重量（包括滿載和空載狀態(tài)）、設(shè)備重心位置等。這些參數(shù)對(duì)于設(shè)計(jì)防震基座的承載能力和穩(wěn)定性至關(guān)重要。531瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2024-12-26 16:45
防震基座安裝精度的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是什么？
尺寸精度：基座的長(zhǎng)、寬、高尺寸公差一般要控制在 ±1-±3mm 范圍內(nèi)，具體取決于設(shè)備的規(guī)格要求。例如，對(duì)于高精度光刻機(jī)的防震基座，尺寸公差可能要求在 ±1mm 以內(nèi)。安裝孔的位置精度更為關(guān)鍵，位置度公差通常在 ±0.5-±1mm 之間.804瀏覽量
