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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

3.3k 內(nèi)容數(shù) 99w+ 瀏覽量 166 粉絲

sj6000激光干涉儀測量

型號： sj6000

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 穩(wěn)頻精度 0.005nm

--- 產(chǎn)品詳情 ---

sj6000激光干涉儀測量以干涉技術(shù)為核心，可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準。

 

機床.jpg

 

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SJ6000機床校準激光干涉儀

 

sj6000激光干涉儀測量可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件，具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

 

500全套系統(tǒng).jpg

 

注意事項

對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

 

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產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號： SJ6800

產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀

穩(wěn)頻方式： 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量至大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

主要特點：絕對測量、恒測力、無阿貝誤差

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