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ANSYS - 5. 7 被用來(lái)進(jìn)行有限元分析。首先根據(jù)硅微機(jī)械技術(shù)的特點(diǎn)對(duì)3 種膜片進(jìn)行建模。圖2 (a)中的平膜沒(méi)有什么特殊性,但圖2 (b) 和圖2 (c) 的波紋膜和深盆腔膜則有一定的形狀要求。統(tǒng)一將3 種膜的水平面積固定為1 ×1 (mm2) ,其中對(duì)波紋膜只在圖中
顯示了1/ 4 面積。膜厚都選表面微機(jī)械薄膜的典型值為1. 2μm. 考慮波紋膜和盆腔膜的形成很可能要在各向異性腐蝕的硅上生長(zhǎng),故確定了圖中54. 74°的角度。對(duì)于方膜上波紋的排布和波紋深度,
顯示了1/ 4 面積。膜厚都選表面微機(jī)械薄膜的典型值為1. 2μm. 考慮波紋膜和盆腔膜的形成很可能要在各向異性腐蝕的硅上生長(zhǎng),故確定了圖中54. 74°的角度。對(duì)于方膜上波紋的排布和波紋深度,
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