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運(yùn)用共振隧穿雙勢(shì)壘（DBRT）結(jié)構(gòu)中的一種壓阻效應(yīng)原理—介觀壓阻效應(yīng)，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT結(jié)構(gòu)薄膜作為敏感元件，設(shè)計(jì)了一個(gè)周邊固支平膜片結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。并對(duì)介觀壓阻和普通壓阻靈敏度的量級(jí)作出了比較，驗(yàn)證了介觀壓阻效應(yīng)原理，可以提高壓力傳感器的靈敏度，為制造基于介觀壓阻效應(yīng)的新型超敏感型傳感器提供了一定的理論依據(jù)。
- Abstract:
- ?This paper used a piezoresistive effect meso-piezoresistive effectin a double-barrier resonant tunneling(DBRT)structure,took GaAs/AlAs/InGaAs DBRT film as core component,a pressure sensor with a film fixed around is designed.Grade of sensitivity are compared meso-piezoresistive with general,principle of meso-piezoresistive effects is verified,it can be inproved sensitivity of sensor to produced new micro-transducers based on meso-piezoresistive effect offers a new means.
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