資料介紹
硅通孔TSV發(fā)生開路故障和泄漏故障會降低三維集成電路的可靠性和良率,因此對綁定前的TSV測試尤為重要?,F(xiàn)有CAFWAS測試方法對泄漏故障的測試優(yōu)于其他方法(環(huán)形振蕩器等),缺點(diǎn)是該方法不能測試開路故障。偽泄漏路徑思想的提出,解決了現(xiàn)有CAFWAS方法不能對開路故障進(jìn)行測試的問題。另外,重新設(shè)計(jì)了等待時(shí)間產(chǎn)生電路,降低了測試時(shí)間開銷。HSPICE仿真結(jié)果顯示,該方法能準(zhǔn)確預(yù)測開路和泄漏故障的范圍,測試時(shí)間開銷僅為現(xiàn)有同類方法的25%。
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