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標簽 > 碳化硅
金剛砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生產綠色碳化硅時需要加食鹽)等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見的礦物,莫桑石。
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切割深度動態(tài)補償技術對晶圓 TTV 厚度均勻性的提升機制與參數(shù)優(yōu)化
一、引言 在晶圓制造過程中,晶圓總厚度變化(TTV)是衡量晶圓質量的關鍵指標,直接影響芯片制造的良品率與性能。切割過程中,受切削力、振動、刀具磨損等因素...
晶圓切割中淺切多道工藝與切削熱分布的耦合效應對 TTV 的影響
一、引言 在半導體晶圓制造領域,晶圓總厚度變化(TTV)是衡量晶圓質量的關鍵指標,直接影響芯片制造的良品率與性能。淺切多道工藝通過分層切削降低單次切削力...
淺切多道切割工藝對晶圓 TTV 厚度均勻性的提升機制與參數(shù)優(yōu)化
一、引言 在半導體制造領域,晶圓總厚度變化(TTV)是衡量晶圓質量的關鍵指標之一,直接影響芯片制造的良品率與性能。傳統(tǒng)切割工藝在加工過程中,易因單次切割...
碳化硅襯底切割自動對刀系統(tǒng)與進給參數(shù)的協(xié)同優(yōu)化模型
一、引言 碳化硅(SiC)襯底憑借優(yōu)異性能在半導體領域地位關鍵,其切割加工精度和效率影響產業(yè)發(fā)展。自動對刀系統(tǒng)決定切割起始位置準確性,進給參數(shù)控制切割過...
基于機器視覺的碳化硅襯底切割自動對刀系統(tǒng)設計與厚度均勻性控制
一、引言 碳化硅(SiC)作為第三代半導體材料的代表,以其卓越的物理化學性能,在新能源汽車、軌道交通、5G 通信等關鍵領域展現(xiàn)出不可替代的作用。然而,...
自動對刀技術對碳化硅襯底切割起始位置精度的提升及厚度均勻性優(yōu)化
摘要:碳化硅襯底切割對起始位置精度與厚度均勻性要求極高,自動對刀技術作為關鍵技術手段,能夠有效提升切割起始位置精度,進而優(yōu)化厚度均勻性。本文深入探討自動...
碳化硅襯底切割進給量與磨粒磨損狀態(tài)的協(xié)同調控模型
摘要:碳化硅襯底切割過程中,進給量與磨粒磨損狀態(tài)緊密關聯(lián),二者協(xié)同調控對提升切割質量與效率至關重要。本文深入剖析兩者相互作用機制,探討協(xié)同調控模型構建方...
方正微1200V Easy2B碳化硅模塊在135kW PCS中的應用
隨著全球能源需求不斷上升,我國“雙碳”戰(zhàn)略的逐步推進和新能源行業(yè)的快速發(fā)展,近年來光伏儲能充電系統(tǒng)(PCS-Photovoltaic Storage C...
基于進給量梯度調節(jié)的碳化硅襯底切割厚度均勻性提升技術
碳化硅襯底切割過程中,厚度不均勻問題嚴重影響其后續(xù)應用性能。傳統(tǒng)固定進給量切割方式難以適應材料特性與切割工況變化,基于進給量梯度調節(jié)的方法為提升切割厚度...
切割進給量與碳化硅襯底厚度均勻性的量化關系及工藝優(yōu)化
引言 在碳化硅襯底加工過程中,切割進給量是影響其厚度均勻性的關鍵工藝參數(shù)。深入探究二者的量化關系,并進行工藝優(yōu)化,對提升碳化硅襯底質量、滿足半導體器件制...
亞非拉市場工商業(yè)儲能破局之道:基于SiC碳化硅功率模塊的高效、高可靠PCS解決方案 —— 為高溫、電網(wǎng)不穩(wěn)環(huán)境量身定制的技術革新 傾佳電子楊茜致力于推動...
碳化硅襯底高溫加工場景下測量探頭溫漂的動態(tài)修正方法
引言 碳化硅襯底高溫加工過程中,溫度的劇烈變化會引發(fā)測量探頭溫漂,嚴重影響襯底厚度等參數(shù)的測量精度,進而干擾加工工藝的精準控制。探尋有效的動態(tài)修正方法,...
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