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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟繁榮和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機械學(xué)的各分支。
常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風(fēng)、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
優(yōu)化導(dǎo)航系統(tǒng)中的MEMS IMU數(shù)據(jù)一致性和時序
PNT專家Dana Goward在近期的一篇社論中指出,如今社會極度依賴GPS提供的位置導(dǎo)航授時服務(wù)(PNT)?,F(xiàn)有GPS/GNSS PNT服務(wù)面臨著一...
2025-07-11 標(biāo)簽:mems導(dǎo)航系統(tǒng)IMU 672 0
在MEMS制造工藝中,干法刻蝕是通過等離子體、離子束等氣態(tài)物質(zhì)對薄膜材料或襯底進行刻蝕的工藝,其評價參數(shù)直接影響器件的結(jié)構(gòu)精度和性能。那么干法刻蝕有哪些...
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計是一款超低功耗、±400g微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計,以2560Hz...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計是一款超低功耗、3軸微機電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計,在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
傾角計是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機,從保障安全的工程機械到預(yù)警地質(zhì)災(zāi)害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計,具有可選...
在 MEMS(微機電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機將...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
高精度六軸MEMS運動跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計
ADIS16470微型MEMS慣性測量單元(IMU)英文手冊立即下載
類別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)立即下載
類別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機電系統(tǒng)
瑞之辰MEMS壓力傳感器:“小而精”技術(shù)引領(lǐng)國產(chǎn)替代
“小而精”,已經(jīng)成為工業(yè)傳感器的研發(fā)趨勢,瑞之辰用MEMS技術(shù)打破了“尺寸小等于性能弱”的固有認(rèn)知。尺寸為10mm×2.6mm的金屬封裝壓力傳感器,不僅...
在非開挖地下工程作業(yè)中,軌跡控制精度會直接影響施工效率。傳統(tǒng)磁定向工具在金屬管道、城市地下強磁干擾環(huán)境中易失效;光纖陀螺體積大且抗振抗沖擊性能較差。而E...
2025-07-11 標(biāo)簽:mems 94 0
新能源汽車:動力電池系統(tǒng)的密集監(jiān)測在新能源汽車領(lǐng)域,動力電池系統(tǒng)的安全與性能至關(guān)重要,對壓力和溫度的精準(zhǔn)監(jiān)測不可或缺。瑞之辰直徑10mm金屬封裝充油芯體...
在追尋地下寶藏(油氣、礦產(chǎn))與探索地球奧秘(地質(zhì)工程)的征途中,精確控制鉆頭方向、實時描繪井眼軌跡、并在復(fù)雜地層中獲取可靠數(shù)據(jù),是定向鉆進與測井作業(yè)面臨...
工業(yè)設(shè)備微型化趨勢下的傳感器需求隨著工業(yè)自動化、汽車電子和消費電子產(chǎn)品的快速發(fā)展,多種設(shè)備內(nèi)部空間變得越來越緊湊,對傳感器的微型化、性價比需求已成趨勢。...
為什么MEMS定向短節(jié)抗磁干擾優(yōu)于磁通門定向短節(jié)?
一、磁通門傳感器的核心缺陷:磁敏感性的局限? 磁通門傳感器作為磁性定向短節(jié)的核心,其工作原理完全依賴地磁場。這導(dǎo)致其在井下復(fù)雜環(huán)境中存在不可克服的技術(shù)缺...
可穿戴設(shè)備音頻黑科技!MP421A-AT02微型麥克風(fēng)支持多陣列降噪
1.6V-3.6V寬電壓適配電池設(shè)備,MP421A-AT02在物聯(lián)網(wǎng)終端中兼顧能效與性能,ROHS無鹵素認(rèn)證更環(huán)保。
50.6億發(fā)力!全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線9月量產(chǎn)在即
在科技飛速發(fā)展的當(dāng)下,集成電路產(chǎn)業(yè)的每一次突破都備受矚目。近日,一則振奮人心的消息傳來:總投資 50.6 億的全國首條8英寸MEMS 晶圓全自動生產(chǎn)線建...
隨著工業(yè)自動化、汽車電子和消費電子產(chǎn)品的快速發(fā)展,設(shè)備內(nèi)部空間越來越緊湊,工程師在設(shè)計傳感器布局時面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)壓力傳感器體積較大,難以滿足狹小空間...
MEMS定向短節(jié)如何重新定義磁干擾井段測井標(biāo)準(zhǔn)?
? 在石油測井領(lǐng)域,磁干擾與小井斜段的方位測量長期是行業(yè)技術(shù)瓶頸——傳統(tǒng)磁測斜儀在套管、鉆桿等強磁場景中精度不準(zhǔn),而常規(guī)陀螺工具又難以在小井斜段輸出有效...
2025-07-09 標(biāo)簽:mems 109 0
型號 | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊 | 參考價格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價格
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