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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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當柵極和源極之間的偏置電壓超過開關閾值電壓時,梁上的觸點便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開關接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時,懸臂梁像彈簧一...
ADIS16355芯片MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集硬件設計
DIS16355慣性測量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結合,提供六自由度運動感知、嵌入式校準與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補償,并大大提高信...
由上海微技術工業(yè)研究院構建的國內首條,全球領先,兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式向業(yè)界發(fā)聲,在打造中國完整的“超越摩爾”產業(yè)鏈基礎上,旨在進一步推動中...
2017-09-28 標簽:mems 6653 0
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/程文智)不論我們設計的電子產品是應用在云計算、無線LTE、數(shù)據(jù)中心,還是物聯(lián)網(wǎng)、汽車、醫(yī)療保健,或者是航空航天等領域,系統(tǒng)內必然需...
MEMS諧振器的發(fā)展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
20世紀中期以來,頻率控制的市場就是由石英晶體諧振器和石英振蕩器所主導的。甚至到了今天,幾乎所有的電子設備在某方面仍是依賴機械石英晶體來產生多種可能運行...
MEMS振蕩器領域的行業(yè)龍頭企業(yè)SiTime Corporation宣布面向高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的汽車網(wǎng)絡應用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
根本問題是角速率反饋環(huán)路中的噪聲可能直接影響運動控制系統(tǒng)的關鍵性能標準,因此,在設計新系統(tǒng)的過程中,應當盡早予以考慮。相比于僅知道需要低噪聲的人,能夠量...
2018-06-12 標簽:mems陀螺儀數(shù)字濾波器 6493 0
MEMS是一種全新的必須同時考慮多種物理場混合作用的研發(fā)領域,相對于傳統(tǒng)的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微...
日本開發(fā)一種監(jiān)測系統(tǒng) 通過MEMS傳感器和無線技術實現(xiàn)建筑物結構監(jiān)測
該建筑物結構監(jiān)測系統(tǒng)通過新開發(fā)的高精度MEMS傳感器,并結合920MHz頻段的無線技術,可以實現(xiàn)長期的結構穩(wěn)定性監(jiān)測。
基于MEMS技術的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個ToF處理過程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測ToF到最近目標并通過I2C返回16位ToF信號。SoC...
工業(yè)4.0和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)等計劃正在幫助制造企業(yè)提高生產流程的效率。基于云的分析應用程序負責整理和提供運行生產或制造操作的許多不同方面的上下文。...
微機電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術,或在日本被稱為微機械,是一類器件,其特點是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微...
VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護...
妙用MEMS加速度計 + 高通濾波器組合“砍”系統(tǒng)功耗
MEMS加速度計已成為行動裝置省電設計的重要元件。內建高通濾波器并具備自由落體偵測功能的加速度計,能藉由一支中斷接腳為處理器提供可靠的喚醒和無動作偵測訊...
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