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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購買這些校準(zhǔn)方案還是開發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1287 0
我們都知道,F(xiàn)BAR濾波器就是薄膜腔聲諧振濾波器,它不同于以前的濾波器,是使用硅底板、借助MEMS技術(shù)以及薄膜技術(shù)而制造出來的,現(xiàn)階段的FBAR濾波器已...
調(diào)試MEMS加速度計(jì),為什么Y軸和Z軸的MSB輸出數(shù)據(jù)是0xFF?
本期小編將為大家分享的熱門問答帖來自 MEMS專區(qū)。趕緊來看看,您是否也有相同的疑惑?
MEMS超聲波傳感器推動(dòng)AR/VR技術(shù)的發(fā)展
傳感技術(shù)通過先進(jìn)精確的定位/運(yùn)動(dòng)檢測,幫助用戶在虛擬空間中獲得現(xiàn)實(shí)的體驗(yàn)感。TDK最新的AR/VR系統(tǒng)使用飛行時(shí)間(ToF)技術(shù)來測量與某個(gè)物體的距離,...
基于高溫退火非極性面氮化鋁單晶薄膜實(shí)現(xiàn)高性能聲學(xué)諧振器開發(fā)
氮化鋁(AlN)以其超寬禁帶寬度(~6.2 eV)和直接帶隙結(jié)構(gòu),與氧化鎵、氮化硼、金剛石等半導(dǎo)體材料被并稱為超寬禁帶半導(dǎo)體,與氮化鎵、碳化硅等第三代半...
一種新型的基于仿真的MEMS結(jié)構(gòu)進(jìn)化方法
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件具有小型化、低成本、可批量生產(chǎn)的特點(diǎn),在消費(fèi)電子、汽車電子、航空航天、醫(yī)療器械和工業(yè)控制等多個(gè)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用
精準(zhǔn)的測試,幾乎是所有工程師測試工作永恒的追求目標(biāo)。但這絕非易事,特別是小信號(hào)的測量。例如,半導(dǎo)體器件、材料、醫(yī)療、MEMS、發(fā)光器件等,需要測量精確伏...
水壓計(jì)ILPS28QSW開發(fā)(3)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱為電荷變化檢測(Qvar stands for “Quasi-static VARiation”),是一種用于檢測電荷變化的技術(shù)。這種技術(shù)...
為工業(yè)4.0實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大的有線狀態(tài)監(jiān)控
機(jī)器人和旋轉(zhuǎn)機(jī)械(如渦輪機(jī)、風(fēng)扇、泵和電機(jī))的狀態(tài)監(jiān)控 (CbM) 記錄與機(jī)器運(yùn)行狀況和性能相關(guān)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù),以實(shí)現(xiàn)有針對(duì)性的預(yù)測性維護(hù)以及優(yōu)化控制。在機(jī)...
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競爭。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
阻礙智能傳感器發(fā)展的主要原因!50%的問題都出在這里!什么是MEMS封裝?(附58家頭部企業(yè)名單)
相關(guān)資料顯示, 在 MEMS 系統(tǒng)中發(fā)生的可靠性問題 50% 來自封裝過程 。2001年左右, 封裝成本占MEMS器件總成本的70%~80% ,使當(dāng)時(shí)M...
MEMS存儲(chǔ)器是一種新型存儲(chǔ)器件,本內(nèi)容介紹了MEMS存儲(chǔ)設(shè)備的管理技術(shù),請(qǐng)求調(diào)度算法,數(shù)據(jù)布局策略等內(nèi)容
您需要了解的有關(guān)狀態(tài)監(jiān)測的MEMS加速度計(jì)的信息
市場上出現(xiàn)了許多高度集成且易于部署的狀態(tài)監(jiān)測產(chǎn)品,這些產(chǎn)品采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì)作為核心傳感器。這些經(jīng)濟(jì)型產(chǎn)品有助于降低部署和擁有的總體成本...
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容,分為兩部分,共計(jì)212頁P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類,基本敏感原理介紹,M...
淺析pMEMS振蕩器用于工業(yè)頻率控制的設(shè)計(jì)
從消費(fèi)類多媒體產(chǎn)品到工業(yè)自動(dòng)化和監(jiān)視系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)和通信基礎(chǔ)設(shè)施以及堅(jiān)固的軍用設(shè)備,所有數(shù)字電子產(chǎn)品都有一個(gè)滴答作響的“心臟”,即一個(gè)準(zhǔn)確的振蕩器。歷史上,...
隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的不斷發(fā)展,其在航空航天、汽車電子、消費(fèi)電子、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛。作為MEMS器件的重要組成部分,封裝技術(shù)對(duì)于保...
2024-07-08 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)封裝結(jié)構(gòu) 1204 0
基于深度學(xué)習(xí)(DL)的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的非參數(shù)化MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法
在本論文研究中,作者們提出使用深度學(xué)習(xí)技術(shù),通過快速準(zhǔn)確地預(yù)測具有不同幾何結(jié)構(gòu)特征的眾多設(shè)計(jì)候選方案的物理特性,加速M(fèi)EMS設(shè)計(jì)周期。
2022-09-26 標(biāo)簽:mems機(jī)器學(xué)習(xí)深度學(xué)習(xí) 1199 0
解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù),機(jī)電繼電器早在電報(bào)問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場需求——特別是對(duì)于測試和測量、通信、防務(wù)、醫(yī)療保健...
2023-09-07 標(biāo)簽:ESDmems微機(jī)電系統(tǒng) 1198 0
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