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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS工藝制造中的首要挑戰(zhàn):揭秘頭號(hào)大敵
本文深入解析兩類(lèi)應(yīng)力的形成機(jī)制,揭秘從工藝優(yōu)化(如LPCVD參數(shù)調(diào)控)到材料設(shè)計(jì)的全鏈條應(yīng)對(duì)策略,并探討如何將熱應(yīng)力“化敵為友”,為高可靠性MEMS器件...
近日,階梯醫(yī)療宣布成功完成3.5億元人民幣的B輪融資,標(biāo)志著該公司在腦機(jī)接口技術(shù)領(lǐng)域的進(jìn)一步突破。本輪融資由啟明創(chuàng)投、奧博資本、禮來(lái)亞洲基金以及多家知名...
鑫精誠(chéng)完成近億元首輪融資,加速六維力傳感器產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)
近日,深圳市鑫精誠(chéng)傳感技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“鑫精誠(chéng)”)宣布完成近億元的首輪融資。本輪融資由深創(chuàng)投集團(tuán)領(lǐng)投,聚合資本和仁智資本共同參與跟投。這筆資金將主...
Omnitron Sensors獲1300萬(wàn)美元A輪融資
近期,新一代MEMS產(chǎn)品領(lǐng)域的創(chuàng)新先驅(qū)Omnitron Sensors成功獲得了超過(guò)1300萬(wàn)美元的A輪融資。本輪融資由Corriente Adviso...
該工藝平臺(tái)專(zhuān)注于 壓電MEMS領(lǐng)域新器件的研發(fā)和量產(chǎn)服務(wù), 平臺(tái)設(shè)備選型滿(mǎn)足 6英寸全自動(dòng)化晶圓量產(chǎn)需求。 積極布局先進(jìn)微電子器件、聲電器件、MEMS器...
英飛凌科技股份公司近期在電容式微機(jī)械超聲波傳感器(CMUT)技術(shù)領(lǐng)域取得了顯著突破,并成功推出了首款高度集成的單芯片解決方案。 這款創(chuàng)新的解決方案基于微...
10億元半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)總部項(xiàng)目落戶(hù)青島西海岸新區(qū)
2月5日,由海創(chuàng)智能裝備(煙臺(tái))有限公司總投資10億元的半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)總部項(xiàng)目落戶(hù)青島西海岸新區(qū)。 該項(xiàng)目是今年以來(lái)第二個(gè)落地新區(qū)的半導(dǎo)體高端設(shè)備項(xiàng)...
2025-02-07 標(biāo)簽:半導(dǎo)體mems半導(dǎo)體設(shè)備 555 0
隨著汽車(chē)的廣泛普及和智能化趨勢(shì)的不斷發(fā)展,駕駛者對(duì)車(chē)輛操控性、舒適性以及安全性的要求日益提升。精準(zhǔn)檢測(cè)汽車(chē)的運(yùn)動(dòng)、方向和姿態(tài),不僅是優(yōu)化駕乘體驗(yàn)的關(guān)鍵,...
中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)前景怎樣?DeepSeek這樣回答
中國(guó)傳感器行業(yè)的前景廣闊,受益于國(guó)家政策支持、技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)以及下游應(yīng)用市場(chǎng)的強(qiáng)勁需求,但同時(shí)也面臨技術(shù)突破、國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)和產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同等挑戰(zhàn)。以下從多個(gè)維度分...
2月5日晚間,中國(guó)紡織機(jī)械巨頭慈星股份發(fā)布《關(guān)于終止發(fā)行股份及支付現(xiàn)金購(gòu)買(mǎi)資產(chǎn)并募集配套資金暨復(fù)牌的公告》, 宣布終止對(duì)國(guó)產(chǎn)MEMS射頻芯片廠商武漢敏聲...
Thorlabs收購(gòu)MEMS VCSEL先驅(qū)者Praevium Research
據(jù)報(bào)道,總部位于美國(guó)加州的領(lǐng)先光學(xué)解決方案提供商Thorlabs,近日宣布成功收購(gòu)MEMS垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)領(lǐng)域的先驅(qū)者Praevium ...
博世是MEMS技術(shù)的領(lǐng)跑者,也是全球最大的MEMS傳感器供應(yīng)商之一,在MEMS領(lǐng)域已深耕三十年。博世MEMS傳感器的產(chǎn)品組合豐富,涵蓋汽車(chē)應(yīng)用、消費(fèi)電子...
三軸MEMS陀螺儀:創(chuàng)新科技,精準(zhǔn)感知
在智能設(shè)備日新月異的今天,傳感器作為設(shè)備感知外界環(huán)境的“耳目”,其性能的提升對(duì)于設(shè)備的整體表現(xiàn)至關(guān)重要。艾瑞科慣性技術(shù)ER-3MG-14三軸MEMS陀螺...
2025-01-22 標(biāo)簽:mems陀螺儀無(wú)人機(jī) 829 0
芯動(dòng)聯(lián)科簽訂2.7億元陀螺儀產(chǎn)品銷(xiāo)售合同,2025年執(zhí)行完畢
傳感器專(zhuān)家網(wǎng)消息,1月17日晚間,國(guó)產(chǎn)高精度慣性傳感器企業(yè)芯動(dòng)聯(lián)科發(fā)布公告稱(chēng), 公司于近日與客戶(hù) P 簽訂了陀螺儀產(chǎn)品的銷(xiāo)售合同,合同金額2.7億元人民...
2025-01-20 標(biāo)簽:mems陀螺儀芯動(dòng)聯(lián)科 1705 0
國(guó)產(chǎn)芯片開(kāi)掛了!12英寸MEMS頂配產(chǎn)線(xiàn)助力微流控芯片快速崛起!
1月16日,上海傲睿科技有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“傲??萍肌保┡c長(zhǎng)期專(zhuān)注于集成電路及MEMS芯片產(chǎn)業(yè)的上海興橙投資管理有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“興橙資本”)及其產(chǎn)業(yè)平臺(tái)廣州...
飛利浦將旗下MEMS代工廠Xiver出售,該廠為ASML光刻機(jī)提供組件
近日,飛利浦已將其位于荷蘭埃因霍溫的 MEMS 晶圓廠和代工廠出售給一個(gè)荷蘭投資者財(cái)團(tuán),交易金額不詳。該代工廠為 ASML 光刻機(jī)等公司提供產(chǎn)品,并已更...
新原理與新結(jié)構(gòu):基于分離波導(dǎo)交叉的MEMS硅光開(kāi)關(guān)及陣列
01. 研究成果概述 ? ? ? 2025年1月2日,光電學(xué)院戴道鋅/李歡研究團(tuán)隊(duì)在《Nature Communications》期刊在線(xiàn)發(fā)表了題為“S...
奧松電子建設(shè)粵港澳大灣區(qū)首個(gè)智能傳感技術(shù)概念驗(yàn)證中心
近日,廣州市科學(xué)技術(shù)局公布《2024年度概念驗(yàn)證中心認(rèn)定名單》,廣州奧松電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“奧松電子”)建設(shè)的“廣州市智能傳感技術(shù)概念驗(yàn)證中心”...
封頂!奧松半導(dǎo)體重慶8英寸MEMS項(xiàng)目今年投產(chǎn)
1月8日,記者從西部(重慶)科學(xué)城獲悉,奧松半導(dǎo)體8英寸MEMS特色芯片IDM產(chǎn)業(yè)基地一期項(xiàng)目FAB主廠房近日封頂,標(biāo)志著該項(xiàng)目建設(shè)取得階段性進(jìn)展。預(yù)計(jì)...
蘇州MEMS芯片初創(chuàng)企業(yè)完成近千萬(wàn)美元A+輪融資
蘇州原位芯片科技有限責(zé)任公司(原位芯片,YW MEMS)近日宣布完成近千萬(wàn)美元A+輪融資,投資方為美元基金。本輪融資將推動(dòng)公司加速布局基于MEMS壓電技...
編輯推薦廠商產(chǎn)品技術(shù)軟件/工具OS/語(yǔ)言教程專(zhuān)題
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BLDC | PLC | 碳化硅 | 二極管 | OpenAI | 元宇宙 | 安森美 | ADI |
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